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内容简介:
本书系统地讨论了用于电子、光电子和MEMS器件的2.5D、3D,以及3D IC集成和封装技术的最新进展和未来可能的演变趋势,同时详尽地讨论了IC的3D集成和封装关键技术中存在的主要工艺问题和可能的解决方案。通过介绍半导体产业中IC按照摩尔定律的发展以及演变的历史,阐述3D集成和封装的优势和挑战,结合当前3D集成关键技术的发展重点讨论TSV制程与模型、晶圆减薄与薄晶圆在封装组装过程中的拿持晶圆键合技术、3D堆叠的微凸点制造与组装技术、3D Si集成、2.5D/3D IC集成和采用无源转接板的3D IC集成、2.5D/3D IC集成的热管理技术、封装基板技术,以及存储器、LED、MEMS、CIS 3D IC集成等关键技术问题,最后讨论3D IC封装技术。 本书适合从事电子、光电子、MEMS等器件3D集成的工程师、科研人员和技术管理人员阅读,也可以作为高等院校相关专业高年级本科生和研究生的教材和参考书。
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书籍介绍
本书系统地讨论了用于电子、光电子和MEMS器件的2.5D、3D,以及3D IC集成和封装技术的最新进展和未来可能的演变趋势,同时详尽地讨论了IC的3D集成和封装关键技术中存在的主要工艺问题和可能的解决方案。通过介绍半导体产业中IC按照摩尔定律的发展以及演变的历史,阐述3D集成和封装的优势和挑战,结合当前3D集成关键技术的发展重点讨论TSV制程与模型、晶圆减薄与薄晶圆在封装组装过程中的拿持晶圆键合技术、3D堆叠的微凸点制造与组装技术、3D Si集成、2.5D/3D IC集成和采用无源转接板的3D IC集成、2.5D/3D IC集成的热管理技术、封装基板技术,以及存储器、LED、MEMS、CIS 3D IC集成等关键技术问题,最后讨论3D IC封装技术。 本书适合从事电子、光电子、MEMS等器件3D集成的工程师、科研人员和技术管理人员阅读,也可以作为高等院校相关专业高年级本科生和研究生的教材和参考书。
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书籍真实打分
故事情节:6分
人物塑造:9分
主题深度:8分
文字风格:6分
语言运用:3分
文笔流畅:3分
思想传递:3分
知识深度:5分
知识广度:3分
实用性:7分
章节划分:3分
结构布局:6分
新颖与独特:5分
情感共鸣:4分
引人入胜:6分
现实相关:7分
沉浸感:8分
事实准确性:7分
文化贡献:5分